日本JFM 玻璃管

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品牌: 日本JFM

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简介

专注于半导体工艺高可靠性陶瓷元件的开发。产品线包括用于等离子体CVD/PVD设备的聚焦环、用于溅射设备的阴影环、用于蚀刻设备的边缘接触环、用于离子注入设备的腔室密封环以及用于薄膜沉积设备的沉积环。它采用多种陶瓷材料，如氧化铝、钒晶、硅化硅和铝铝，并通过精密…

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产品详情

专注于半导体工艺高可靠性陶瓷元件的开发。产品线包括用于等离子体CVD/PVD设备的聚焦环、用于溅射设备的阴影环、用于蚀刻设备的边缘接触环、用于离子注入设备的腔室密封环以及用于薄膜沉积设备的沉积环。它采用多种陶瓷材料，如氧化铝、钒晶、硅化硅和铝铝，并通过精密成型和烧结技术实现了卓越的等离子体抗性和热机械性能。针对半导体设备制造商的特殊需求，我们提供从材料选择、结构设计、精密加工到表面处理等定制解决方案。

日本JFM 陶瓷刀片
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