作业工具·自动化控件 OHKURA大仓日本原装OHKURA大仓金属隔膜减压阀RD2210A

日本原装OHKURA大仓金属隔膜减压阀RD2210A

货号: RD2210A

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品牌: OHKURA大仓

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这是一种金属隔膜减压阀，可用于掺杂、外延等半导体行业，用于各种化学分析、特殊气体、高纯气体、腐蚀性气体等。

分类: 作业工具·自动化控件, OHKURA大仓,

产品详情

■清洁组件
隔膜与主体采用金属结合密封，所有产品均经过He-Leak检查、无油、防水和清洁处理。

■高通用性高压和低压共有
8种类型，有面板安装和底部安装可供选择。

项目	用于高压 RD210A1□1□	低压 RD210A4□2□
压力	最大24.5MPa	最大2.94MPa
使用的主要压力	最大14.7MPa	最大2MPa
设置压力范围	171.6kPa 343kPa 686kPa 1372kPa 2059kPa	171.6kPa 343kPa 686kPa
有效孔口	φ0.7	φ2
CV 值	0.015	0.1
一次压力特性*1	0.5% *1 一次压力特性（设定压力波动范围/一次压力波动范围）×100（10 L/min时）	1.3% *1 一次压力特性（设定压力波动范围/一次压力波动范围）×100（10 L/min时）
再现性	±0.98kPa
磁滞现象	±3.92kPa
外部泄漏	1.013×10-10Pa・m3/s（He）以下
内部泄漏	1.013×10-8Pa・m3/s（He）以下
流体接触材料	SUS316，SUS316L，PCTFE
工作温度范围	-10~80°C
港口	60°IN×2　OUT×2	90°进×1出×2
连接端口（连接录像机）	1/4NPT Rc1/4 VCR1/4GR 2 2 VCR 是世伟洛克公司的注册商标。
质量	920克
面板切割	φ33