作业工具·自动化控件 OHKURA大仓日本原装OHKURA大仓立式热处理炉DF1600

日本原装OHKURA大仓立式热处理炉DF1600

货号: DF1600

库存: 0

品牌: OHKURA大仓

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简介

该设备是用于半导体制造过程中热处理的立式热处理炉（扩散炉）。目前，在半导体制造领域，正在从大规模生产体系向多品种、小批量生产体系转变。该设备能够进行小容量和高速处理，并且足够大，可以安装在现有的洁净室中。

分类: 作业工具·自动化控件, OHKURA大仓,

产品详情

长处

■可高速升温和降温（兼容FTP）
采用垂直电阻加热系统的独特加热器可实现高速升温和降温，可在一台机体中进行高速升温和降温处理以及正常加工。

■我们独特的晶圆传输系统通过使用
我们独特的晶圆传输系统，它是一个高度可靠的驱动单元。

■配备间距转换机构
船槽间距可转换为任意间距，晶圆可转移。（设置范围 4.76~9.52mm）晶圆传输通过盒到盒完成。

■强调生产力和可作性的设备控制部分采用了带有触摸屏的
TFT面板，使其成为具有良好生产力和可作性的设备。

■可使用晶圆低温炉
可使用晶圆低温炉。显着减少大气滞留的影响。

■安全、轻松的反应管安装和拆卸使用
自动升降机，可以更安全、更轻松地安装和拆卸反应管。

■独特的温控系统
加热器和温控系统采用独特的方法，大大提高了温度恢复特性。

■可维护性即使放置多个单元，
其设计也考虑到了不影响维护和可作性。