作业工具·自动化控件 OHKURA大仓日本原装OHKURA大仓卧式扩散炉DF1000

日本原装OHKURA大仓卧式扩散炉DF1000

货号: DF1000

库存: 0

品牌: OHKURA大仓

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简介

卧式扩散炉是一种在半导体制造过程中进行热处理的系统。该结构水平设有加热室，有效利用了2~4层纵向空间。热处理的种类包括扩散和氧化，处理温度范围从低温~高温，我们使用自己的高性能控制器来处理广泛的工艺。

分类: 作业工具·自动化控件, OHKURA大仓,

产品详情

长处

■改进的热均衡特性与工作温度相
匹配的加热器和内部高性能控制器的组合可实现稳定的温度控制和热均衡长度。

■兼容
100~200mm晶圆扩散炉系统是满足客户要求φ100mm至φ200mm的扩散炉。

■易于维护
热电偶和加热器更换是即使在其他加热器加热时也可以安全更换的结构。

■性价比由于所用零件
的选择和精益结构，我们实现了低廉的价格。

■更新支持最小化
外部尺寸，支持空间有限的旧系统更新。

规范

晶圆尺寸	~φ200毫米	~φ150毫米	~φ125毫米	~φ100毫米
炉子尺寸 *1	宽 2650mm× D 1200mm× 高 2580mm	宽 2300mm× D 850mm× 高 2395mm	宽 2180mm× D 850mm× 高 2395mm	宽 1850mm× D 700mm× 高 2150mm
平均热长度 *2	900mm±1.0°C （气体含量）	900mm±1.0°C （气体含量）	800mm±1.0°C （气体含量）	800mm±1.0°C （气体含量）
温度范围	600~1200°C	600~1200°C	600~1200°C	600~1200°C
温度控制	3区独立控制	3区独立控制	3区独立控制	3区独立控制
运输系统（可选）	软装载机船用电梯	软装载机船用电梯船用装载机	软装载机船用电梯船用装载机	船用装载机