作业工具·自动化控件 OHKURA大仓日本原装OHKURA大仓立式热处理炉DF2600

日本原装OHKURA大仓立式热处理炉DF2600

货号: DF2600

库存: 0

品牌: OHKURA大仓

¥0.00

简介

该设备是用于半导体制造过程中热处理的立式热处理炉（扩散炉）系统。传统半导体工厂使用的大容量热处理反应器价格合理，可以根据用户的个性化要求灵活应对每个单元的特殊规格。

分类: 作业工具·自动化控件, OHKURA大仓,

产品详情

长处

■性价比客户在引入时
做出反应，可以通过缩短启动时间
以低价提供
■安装性能设备轮廓与现有洁净室
兼容
机身尺寸：H2600×W900×D1280

■维护性能由于主要部件和软件是内部开发的，因此
可以
持续维护到未来
■定制性能可以进行
各种定制
以满足客户需求。
■产品性能可用
卧式炉代替的占地面积
节省
■能源性能通过开发
高效加热器，与本公司相比，节省
了10%的能源可选支持高速升温和高温工艺

规范

●基本规格
建设：	垂直向下开启方式
加工晶圆直径：	4,5,6,8英寸
个案数：	150 片工艺晶圆（6 英寸或更小）100 片晶圆（8 英寸）
盒式存储：	过程，包括最多 8 个盒式磁带（6 英寸或更小）的假人
盒式存储：	过程，包括最多 6 个盒式磁带（8 英寸或更小）的假人
服务业：	湿式、干式、退火等
使用气体：	N2、O2、H2等
晶圆处理：	3件固定（标准），5件成批/1件（可选）
温升和降温率：	升温 10°C/min 最大降温 3°C/min