日本EBARA荏原大流量废气处理设备 G5-1200-A1~A6

货号: G5-1200-A1~A6

库存: 0

品牌: EBARA荏原

¥0.00

G5型得益于荏原独特的废气处理技术，有着处理性能优秀、安全性高和使用寿命长等优点。分为最大气体流量 600L/min和1200L/min两种类型。适用于半导体制造过程中如TEOS等含有Si源的可燃气体的大流量废气处理。特点：●比普通G5型更高的流量规格； ●进气口从4个增加到6个；…

分类: 代理品牌, EBARA荏原,

产品详情

G5型得益于荏原独特的废气处理技术，有着处理性能优秀、安全性高和使用寿命长等优点。分为最大气体流量 600L/min和1200L/min两种类型。适用于半导体制造过程中如TEOS等含有Si源的可燃气体的大流量废气处理。

特点：●比普通G5型更高的流量规格； ●进气口从4个增加到6个； ●标配副产物清除功能（燃烧器部分），可用性更高； ●标配自动除粉功能（储气罐部分），大幅延长维护周期； ●根据处理气体的类型和量按需运行（能耗自动变化），可降低运行成本。

江西省萍乡市安源区春雷粮油批发市场招商中心二楼201-203室

日本EBARA荏原 大流量废气处理设备 G5-1200-A1~A6