日本EBARA荏原废气处理设备 FDS100S

货号: FDS100S

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品牌: EBARA荏原

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简介

FDS型废气处理设备该设备利用热分解技术和特殊的化学吸附作用，对半导体氧化膜蚀刻等工艺中难以分解的 PFCs 气体以氟基气体进行补充，从而实现对 PFCs 气体的高效处理。与燃烧型、加热型和等离子型的系统不同，此系统无需进行氢氟酸的废水处理，是一种环境友好型产品…

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产品详情

FDS型废气处理设备

该设备利用热分解技术和特殊的化学吸附作用，对半导体氧化膜蚀刻等工艺中难以分解的 PFCs 气体以氟基气体进行补充，从而实现对 PFCs 气体的高效处理。与燃烧型、加热型和等离子型的系统不同，此系统无需进行氢氟酸的废水处理，是一种环境友好型产品。

特点：●对PFCs被分解后的含氟气体进行固定处理，无需废水处理； ●在最大进气量250L/min（双筒系统）时，去除效率仍可达 99% 以上； ●250 L/min双筒系统：由于反应槽采用了串行流程设计，设备的正常运行时间显著延长； ●100 L/min单筒系统：方便与传统干式废气处理设备相互置换。