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日本EBARA荏原干式真空泵 EV-M102N

日本EBARA荏原干式真空泵 EV-M102N

货号: EV-M102N
库存: 0 无货
品牌: EBARA荏原

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简介

EV-M 型可应用于在半导体、液晶和太阳能电池制造工艺中有副产物生成的重 制程工艺。同时兼顾了对重制程工艺和节能的需求,实现了停机风险的减少和 运行成本的降低。特点:●产品系列丰富,可应对多种工艺、抽气速率需求; ●兼顾高负荷与低功耗; ●可应对腐蚀性气体(标…

产品详情

EV-M 型可应用于在半导体、液晶和太阳能电池制造工艺中有副产物生成的重 制程工艺。同时兼顾了对重制程工艺和节能的需求,实现了停机风险的减少和 运行成本的降低。

特点:●产品系列丰富,可应对多种工艺、抽气速率需求; ●兼顾高负荷与低功耗; ●可应对腐蚀性气体(标配耐腐蚀材料)。

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日本EBARA荏原干式真空泵 EV-M202N
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日本EBARA荏原干式真空泵 EV-M202N
日本EBARA荏原干式真空泵 EV-M20N E
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