日本EBARA荏原干式真空泵 EV-S50(P/N)

货号: EV-S50(P/N)

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品牌: EBARA荏原

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EV-S 型为独立安装的罗茨型干泵，有着从轻制程工艺（如：load lock、 SEM）到腐蚀性工艺的广泛应用范围。拥有抽气速率可变、通信功能等丰富附加功能的同时，实现了“ 低能耗、占地小、轻量化 ”。特点：●在“低能耗、占地小、轻量化”方面达到业内一…

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产品详情

EV-S 型为独立安装的罗茨型干泵，有着从轻制程工艺（如：load lock、 SEM）到腐蚀性工艺的广泛应用范围。拥有抽气速率可变、通信功能等丰富附加功能的同时，实现了“ 低能耗、占地小、轻量化 ”。

特点：●在“低能耗、占地小、轻量化”方面达到业内一流水平； ●耐腐蚀材料、氮气吹扫功能（可选）； ●在不同频率（50/60Hz）下性能一致； ●通过增强的传感功能减少停机时间。

江西省萍乡市安源区春雷粮油批发市场招商中心二楼201-203室

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