日本EBARA荏原干式真空泵 EV-X型

货号: EV-X型

库存: 0

品牌: EBARA荏原

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作为中等负荷工艺专用的干式真空泵，搭载荏原特有的节能技术，采用面向自动化工厂制造的优化模块设计，并进一步实现了小型化和节能化。通过大范围的温度控制，扩大了适用工艺范围。因同一机型能够覆盖多种工艺，能够优化备用设备的库存，减少用于维护和培训的人力时间…

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产品详情

作为中等负荷工艺专用的干式真空泵，搭载荏原特有的节能技术，采用面向自动化工厂制造的优化模块设计，并进一步实现了小型化和节能化。通过大范围的温度控制，扩大了适用工艺范围。因同一机型能够覆盖多种工艺，能够优化备用设备的库存，减少用于维护和培训的人力时间，并且能够灵活应对未来的工艺扩展。

特点：●以大幅的温度控制实现大范围的工艺覆盖； ●低能耗、占地小； ●可耐受腐蚀性气体（采用标准耐腐蚀材料）； ●适用案例：各种蚀刻以及CVD、灰化、离子注入、外延生长等。

江西省萍乡市安源区春雷粮油批发市场招商中心二楼201-203室

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