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日本SINFONIA 300毫米EFEM

日本SINFONIA 300毫米EFEM

货号: 300毫米EFEM
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简介

无真空/真空晶圆处理(清洁类1)减少晶圆背面的剪接颗粒应用于200毫米晶圆和石英晶圆(300毫米选项)高速且精准的晶圆处理(0.05毫米)安装N2清除负载端口(选项)标准3载入口类型+可扩展模块(选装)防腐蚀合规(可选)

产品详情
  1. 无真空/真空晶圆处理(清洁类1)减少
    晶圆背面的剪接颗粒

  2. 应用于200毫米晶圆和石英晶圆
    (300毫米选项)

  3. 高速且精准的晶圆处理(±0.05毫米)

  4. 安装N2清除负载端口
    (选项)

  5. 标准3载入口类型+可扩展模块
    (选装)

  6. 腐蚀合规
    (可选)

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