日本SINFONIA 300毫米N2 EFEM

货号: 300毫米N2 EFEM

库存: 0

品牌: SINFONIA昕芙旎雅科技

¥0.00

简介

极低氧密度控制，低于100ppm且氮含量低2N2气体循环系统的气体消耗（100LPM）细差自动控制10 +/- 3.5 Pa 压力表等效于传统EFEM的封装（1）使用固定式机器人，最多可访问4LP：无需更改N的深度2EFEM（2）作为传统EFEM从侧面进行维护访问（或可使用EFEM侧位置以获得额外选项…

分类: 其他, SINFONIA昕芙旎雅科技,

产品详情

极低氧密度控制
，低于100ppm且氮含量低2N2气体循环系统的气体消耗（100LPM）
细差自动控制
10 +/- 3.5 Pa 压力表
等效于传统EFEM的封装
（1）使用固定式机器人，最多可访问4LP：无需更改N的深度2EFEM
（2）作为传统EFEM从侧面进行维护访问（或可使用EFEM侧位置以获得额外选项）
（3）客户L/L位置的灵活布局
EFEM 内部环境监测/分析
数字分析仪（氧浓度、露点、温度、压力差）
实时数据监测
安全作
安全替换 N2气体转空气
*S2，S8，CE合规（进行中）