日本原装进口CKD喜开理工艺气体用减压阀PGM-2H-60

货号: PGM-2H-60

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品牌: CKD喜开理

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CKD的工艺气体减压阀拥有行业领先的密封性能、滞后性和重复性。通过供气的高精度压力/流量调整，实现稳定的工艺控制。行业半导体制造工序（前工序）化学液体供给设备用元件

分类: 作业工具·自动化控件, CKD喜开理,

产品详情

【高密封性】
有助于工艺稳定化
● 阀座部的优化设计和超精密加工
● 最大限度抑制阀闭动作时的2次侧泄漏（流出）

【高微小流量控制性】
实现稳定且平稳的动作
● 阀座部形状的优化设计
● 微小流量下也可稳定控制

【减少迟滞】
安全满足目标压力
● 采用高品质材料
● 超精密加工

型号	名称	流量	2次侧设定压力
PGM-30V	工艺气体用减压阀	20ℓ/min	-0.07～0.21Mpa
PGM-30	工艺气体用减压阀	20ℓ/min	0～0.21Mpa
PGM-50	工艺气体用减压阀	20ℓ/min	0～0.35Mpa
PGM-100	工艺气体用减压阀	20ℓ/min	0～0.7Mpa
PGM-H-60	工艺气体用减压阀	50ℓ/min	0～0.42Mpa
PGM-H-100	工艺气体用减压阀	50ℓ/min	0～0.7Mpa
PGM-2H-30V	工艺气体用减压阀	200L/min	-0.07～0.21Mpa
PGM-2H-30	工艺气体用减压阀	200L/min	0～0.21Mpa
PGM-2H-60	工艺气体用减压阀	200L/min	0～0.42Mpa
PGM-2H-100	工艺气体用减压阀	200L/min	0～0.7Mpa