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作业工具·自动化控件 CKD喜开理日本原装进口CKD喜开理集成化供气系统MAGD3

日本原装进口CKD喜开理集成化供气系统MAGD3

日本原装进口CKD喜开理集成化供气系统MAGD3

货号: MAGD3

库存: 0

品牌: CKD喜开理

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简介

省空间且提高了维护性的工艺气体供给系统。从设计到制作均可根据客户需要的流程进行。1.5inch，采用CS密封。行业半导体制造工序（前工序）化学气体供给设备用元件

分类: 作业工具·自动化控件, CKD喜开理,

产品详情

【集成单元】
通过紧凑集成标准化部件，构建工艺气体供气线。
实现了可高速置换工艺气体和惰性气体的理想流路。
从设计到装配、检查完成后交付，可减少客户的工时。

型号	名称	内容	尺寸	配管方式	备注
IAGD3	集成化供气系统	-	-	CS密封
MAGD3	集成化供气系统用元件	气控阀	1.5inch	-
MOGD3	集成化供气系统用元件	手动阀	1.5inch	-
MFGD3	集成化供气系统用元件	流量调节阀	1.5inch	-
MCGP3	集成化供气系统用元件	单向阀	1.5inch	-

日本原装进口CKD喜开理集成化供气系统MOGD3
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日本原装进口CKD喜开理集成化供气系统MOGD3

日本原装进口CKD喜开理集成化供气系统IAGD3
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日本原装进口CKD喜开理集成化供气系统IAGD3

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