PS传感器是一款超精密的非接触式位移仪,采用基于自身技术的电容系统,实现了高稳定性、高分辨率和多功能性。 它被广泛应用于排量、振动、形状和位置检测等多个领域,并因其多功能排量计而享有高度声誉,注重成本效益。 此外,考虑到全球环境的影响,所有产品均无铅且符合RoHS标准。 PS-III系列是PS传感器系列的权威版本,该系列将多个通道合并到一个外壳中,采用100伏交流电,并包含多种功能。 它不仅可用于研发应用,还可用于系统集成。
测量原则
PS传感器基于并联平板电容的原理,如下图所示。 中心电极与靶材之间的电容关系为C,探针与靶材之间的电感率为ε,距离为g,中心电极面积为A。

它可以通过公式表示。 通过驱动交流恒流电源,如下图所示,输出电压为

输出与测量差距成正比。
在PS传感器中,保护电极被驱动使其与中心电极电位相同,从而在中心电极形成平行电场,以获得高线性。

应用

规格
放大器规格|型号配置|标准圆柱形探针规格|标准方法兰探针规格
一键重置功能可归零输出、近远LED显示屏和多通道作功能应用于多种应用。
| 放大器规格 |
| 模型 | 附言三。 | 附言三(B)
(可选) | 附录-三-高中 | PS-III.-高中(B)
(可选) |
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| 基本输出电压范围 | 0 ~ 10 V | -5 ~ +5 V | 0 ~ 10 V | -5 ~ +5 V |
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| 输出端子 | BNC连接器 |
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响应频率响应 (≧-3 dB) | 直流 ~ 1 kHz | 直流 ~ 5 kHz |
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| 工作温度范围 | 10 ~ 40°C |
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| 尺寸 | 257(西)×159(H)×271(D) 毫米 |
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| 电源 | 交流 100 ~ 240 V ±10% 50/60 Hz |
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显示设备如LED、荧光管和液晶显示器,根据制造工艺和批次大小,颜色会有细微变化。 请注意。
模型配置
响应频率响应直流 ~ 5 kHz,通道数4,可用指示器,输出电压范围 -5 ~ +5 V
(空槽面板)
标准圆柱形探针规格
由于探头不含电子电路,可以被改造成紧凑型探头。
也提供定制服务,如真空支持。

| 模型 | △X□□-30 | △X□□-50 | △X□□-100 |
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| 外径 | 4毫米 |
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目标 最小直径 | 4毫米 |
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| 偏移 | 10微米 |
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| 测量范围 | 30微米 | 50微米 | 100微米 |
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决议( PS-III.) | 0.6 nm rms | 1 nm rms | 2 nm rms |
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分辨率 (PS-III.-HS) | 3 nm RMS | 4 nm rms | 8 nm RMS |
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| 线性 | ±0.05% |
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| 探针长度 | 5毫米(定制)、10毫米、30毫米 |
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| 电缆长度 | 标准2米 |
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| 模型 | △Y□□-50 | △Y□□-100 | △Y□□-250 | △Y□□-500 |
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| 外径 | 6毫米 |
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目标 最小直径 | 6毫米 |
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| 偏移 | 10微米 | 25微米 | 50微米 |
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| 测量范围 | 50微米 | 100微米 | 250微米 | 500微米 |
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决议( PS-III.) | 1 nm rms | 2 nm rms | 5 nm rms | 15 nm RMS 规范变更 |
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分辨率 (PS-III.-HS) | 4 nm rms | 8 nm RMS | 20 nm rms | 60 nm RMS 规格变更 |
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| 线性 | ±0.05% | ±0.1% |
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| 探针长度 | 5毫米(定制)、10毫米、30毫米 |
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| 电缆长度 | 标准2米 |
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| 模型 | △Z□□-500 | △Z□□-1000 | △T□□-3000 | △T□□-5000 |
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| 外径 | 12毫米 | 30毫米 |
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目标 最小直径 | 11毫米 | 28毫米 |
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| 偏移 | 50微米 | 100微米 | 300微米 | 500微米 |
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| 测量范围 | 500微米 | 1000微米 | 3000微米 | 5000微米 |
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决议( PS-III.) | 10纳米 RMS | 20 nm rms | 60纳米 RMS | 120 nm RMS 规范更改 |
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分辨率 (PS-III.-HS) | 40 nm rms | 80 nm rms | 240 nm RMS 规范变更 | 480 nm RMS 规格变更 |
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| 线性 | ±0.0% | ±0.1% | ±0.1% 规格更改 | ±0.3% 的规格发生了变化。 |
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| 探针长度 | 10毫米,30毫米 | 15毫米,30毫米 |
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| 电缆长度 | 标准2米 |
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表中的△是电缆插座的类型,□□是探头长度(毫米)
标准方法兰探针规格
| 模型 | FK4006-500 | FK4006-1000 | FN4006-1000 | FN4006-2000 |
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| 测量零件直径 | 15毫米 | 19毫米 |
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目标 最小直径 | 15毫米 | 18毫米 |
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| 偏移 | 50微米 | 100微米 | 100微米 | 200微米 |
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| 测量范围 | 500微米 | 1000微米 | 1000微米 | 2000微米 |
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决议( PS-III.) | 10纳米 RMS | 20 nm rms | 20 nm rms | 40 nm rms |
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分辨率 (PS-III.-HS) | 40 nm rms | 80 nm rms | 80 nm rms | 160 nm rms |
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| 线性 | ±0.05% |
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| 电缆长度 | 标准2米 |
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| 模型 | FT4006-3000 | FT4006-5000 | FU5006-5000 | FU5006-10000
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| 测量零件直径 | 29毫米 | 39毫米 |
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目标 最小直径 | 28毫米 | 38毫米 |
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| 偏移 | 300微米 | 500微米 | 500微米 | 1000微米 |
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| 测量范围 | 3000微米 | 5000微米 | 5000微米 | 10000微米 |
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决议( PS-III.) | 60纳米 RMS | 120 nm RMS | 100 纳米 RMS | 300 nm rms |
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分辨率 (PS-III.-HS) | 240 nm rms | 480 nm rms | 400纳米 RMS | 1200 nm rms |
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| 线性 | ±0.1% | ±0.3% | ±0.1% | ±1.0% |
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| 电缆长度 | 标准2米 |
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