产品概述
高响应、高稳定性、高分辨率、电容式非接触位移计
PS-IA-HS,是一款超精密的非接触式位移仪,采用基于独特技术的电容系统,实现高响应、高稳定性、高分辨率和多功能性。
PS-IA的响应速度已在许多地方推出并备受赞誉,已提升至5 kHz。它使得测量此前难以测量的高速位移现象成为可能。
5 kHz 快速响应
PS-IA的易用性得以保持,但响应速度提高了5倍。
它使得测量此前难以测量的快速位移现象成为可能。
它非常适合测量旋转物体的振动以及压电级的闭环控制。
■主要应用
旋转物体(高速主轴、主轴、硬盘等)的振动测量
紧固和压合过程中的位移与振动分析
压电级的闭环控制
用于高精度定位高速、精密的舞台!
用于透明电极的表面检测!

特色
该放大器采用直流24伏或交流100伏,是单通道放大器,具备输出零重置功能、近远LED指示和BNC模拟输出。 它是一种紧凑但多功能的系统,可用于多种应用,从研发应用到集成到各种设备集成。
● 每个被测量物体无需校准!(如果被测量物体是导体,灵敏度不变)
● 不受表面粗糙度影响。快速移动物体的位移也被高精度测量
● 即使被测物体很薄,只要是导电体,也可以测量。
● 测量面积小于探头直径,因此可以以高位置分辨率进行测量。
● 不受磁场或电磁感应影响
● 标准测量范围广泛,30 ~ 10000微米
● 高线性度:小于±0.05%
● 5 kHz 响应时间
● 超高真空和高温700°C也可行,请联系我们的销售。
定制探针兼容性示例

以上是一个例子。 我们可以根据应用进行定制服务。
测量原则
PS传感器基于并联平板电容的原理,如下图所示。 中心电极与靶材之间的电容关系为C,探针与靶材之间的电感率为ε,距离为g,中心电极面积为A。

它可以通过公式表示。 通过驱动交流恒流电源,如下图所示,输出电压为

输出与测量差距成正比。
在PS传感器中,保护电极被驱动使其与中心电极电位相同,从而在中心电极形成平行电场,以获得高线性。

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规格
|标准圆柱探针规范|标准方法兰探针规格|放大器规格|
标准圆柱形探针规格
由于探头不含任何电子电路,可以被制成紧凑型探头
。也提供定制的真空和高温应用。

| 模型 | △X□□-30 | △X□□-50 | △X□□-100 |
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| 外径 | 4毫米 |
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目标 最小直径 | 4毫米 |
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| 偏移 | 10微米 |
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| 测量范围 | 30微米 | 50微米 | 100微米 |
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分辨率 (PS-IA-HS) | 3 nm RMS | 4 nm rms | 8 nm RMS |
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| 线性 | ±0.05% |
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| 探针长度 | 5毫米(定制)、10毫米、30毫米 |
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| 电缆长度 | 标准2米 |
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| 模型 | △Y□□-50 | △Y□□-100 | △Y□□-250 | △Y□□-500 |
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| 外径 | 6毫米 |
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目标 最小直径 | 6毫米 |
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| 偏移 | 10微米 | 25微米 | 50微米 |
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| 测量范围 | 50微米 | 100微米 | 250微米 | 500微米 |
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分辨率 (PS-IA-HS) | 4 nm rms | 8 nm RMS | 20 nm rms | 60 nm RMS 规格变更 |
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| 线性 | ±0.05% | ±0.1% |
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| 探针长度 | 5毫米(定制)、10毫米、30毫米 |
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| 电缆长度 | 标准2米 |
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| 模型 | △Z□□-500 | △Z□□-1000 | △T□□-3000 | △T□□-5000 |
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| 外径 | 12毫米 | 30毫米 |
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目标 最小直径 | 11毫米 | 28毫米 |
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| 偏移 | 50微米 | 100微米 | 300微米 | 500微米 |
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| 测量范围 | 500微米 | 1000微米 | 3000微米 | 5000微米 |
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分辨率 (PS-IA-HS) | 40 nm rms | 80 nm rms | 240 nm RMS 规范变更 | 480 nm RMS 规格变更 |
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| 线性 | ±0.05% | ±0.1% | ±0.1% 规格更改 | ±0.3% 的规格发生了变化。 |
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| 探针长度 | 10毫米,30毫米 | 15毫米,30毫米 |
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| 电缆长度 | 标准2米 |
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表中的△是电缆插座的类型,□□是探头长度(毫米)
标准方法兰探针规格

| 模型 | 1506-30财年 | 1506-50财年 | 1506-100财年 | 1506-250财年 |
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| 测量零件直径 | 5毫米 |
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目标 最小直径 | 4.4毫米 |
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| 偏移 | 15微米 | 15微米 | 15微米 | 25微米 |
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| 测量范围 | 30微米 | 50微米 | 100微米 | 250微米 |
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分辨率 (PS-IA-HS) | 3 nm RMS | 4 nm rms | 8 nm RMS | 20 nm rms |
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| 线性 | ±0.05% |
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| 电缆长度 | 标准2米 |
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| 模型 | FE1506-100 | FE1506-250 | FE1506-500 | FE1506-750 |
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| 测量零件直径 | 7毫米 |
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目标 最小直径 | 6.2毫米 |
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| 偏移 | 20微米 | 25微米 | 50微米 | 75微米 |
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| 测量范围 | 100微米 | 250微米 | 500微米 | 750微米 |
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分辨率 (PS-IA-HS) | 8 nm RMS | 20 nm rms | 60纳米 RMS | 120 nm RMS |
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| 线性 | ±0.05% | ±0.1% |
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| 电缆长度 | 标准2米 |
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| 模型 | FZ2006-500 | FZ2006-750 | FZ2006-1000 | FZ2006-1500 |
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| 测量零件直径 | 11毫米 |
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目标 最小直径 | 10.4毫米 |
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| 偏移 | 50微米 | 75微米 | 100微米 | 150微米 |
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| 测量范围 | 500微米 | 750微米 | 1000微米 | 1500微米 |
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分辨率 (PS-IA-HS) | 40 nm rms | 60纳米 RMS | 140 nm rms | 240 nm rms |
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| 线性 | ±0.05% | ±0.1% |
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| 电缆长度 | 标准2米 |
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| 模型 | FK4006-500 | FK4006-1000 | FN4006-1000 | FN4006-2000 |
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| 测量零件直径 | 15毫米 | 19毫米 |
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目标 最小直径 | 15毫米 | 18毫米 |
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| 偏移 | 50微米 | 100微米 | 100微米 | 200微米 |
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| 测量范围 | 500微米 | 1000微米 | 1000微米 | 2000微米 |
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分辨率 (PS-IA-HS) | 40 nm rms | 80 nm rms | 80 nm rms | 160 nm rms |
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| 线性 | ±0.05% |
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| 电缆长度 | 标准2米 |
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| 模型 | FT4006-3000 | FT4006-5000 | FU5006-5000 | FU5006-10000
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| 测量零件直径 | 29毫米 | 39毫米 |
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目标 最小直径 | 28毫米 | 38毫米 |
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| 偏移 | 300微米 | 500微米 | 500微米 | 1000微米 |
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| 测量范围 | 3000微米 | 5000微米 | 5000微米 | 10000微米 |
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分辨率 (PS-IA-HS) | 240 nm rms | 480 nm rms | 400纳米 RMS | 1200 nm rms |
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| 线性 | ±0.1% | ±0.3% | ±0.1% | ±1.0% |
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| 电缆长度 | 标准2米 |
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■ 放大器规格
通过单次触控近远LED显示将输出偏移至0V的输出偏移功能
,可以用单一设备应用于多种应用
| 模型 | PS-IA-HS | PS-IA-HS(B)(可选) |
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| 基本输出电压范围 | 0 ~ 10 V | −5 ~ +5 V |
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| 输出端子 | BNC连接器 |
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响应频率响应 (≧-3 dB) | 直流 ~ 5 kHz |
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| 工作温度范围 | +10 ~ +40°C |
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| 电源 | 交流100 ~ 240 V(±10%)(免费电源50/60 Hz)直 流24 V 0.5 A(直流电源线另售) |
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| 尺寸 | 110W×30H×162D 毫米 |
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| 重量 | 360克(仅主机) |
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显示设备如LED、荧光管和液晶显示器,根据制造工艺和批次大小,颜色会有细微变化。 请注意。