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日本原装进口CKD喜开理减压阀

货号: IAVB 系列
库存: 0 无货
品牌: CKD喜开理

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简介

高真空设备真空压力控制系统型号IAVB在保持传统高真空阀可靠性的同时,可以控制各种过程的压力。工业半导体制造工艺(前端工艺)半导体制造工艺(后端工艺)[可以慢速排气控制]与一般的 ON/OFF 真空阀和两段式排气真空阀相比,它实现了恒定速率的温和排气。[增加压力控制…

产品详情

高真空设备

真空压力控制系统

  • 型号

  • IAVB

在保持传统高真空阀可靠性的同时,可以控制各种过程的压力。

  • 工业

    • 半导体制造工艺(前端工艺)

    • 半导体制造工艺(后端工艺)


[可以慢速排气控制]
与一般的 ON/OFF 真空阀和两段式排气真空阀相比,它实现了恒定速率的温和排气。

[增加压力控制功能]
在高度可靠的真空阀的基础上,增加了压力控制功能。
真空过程中的压力调节不需要调节器或可变泄漏。
通过采用提升阀系统,O型圈密封结构实现了全封闭作,这在蝶阀中是不擅长的。

【易于维护】
阀门和电气元件可以单独维护。


日本原装进口CKD喜开理减压阀
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日本原装进口CKD喜开理减压阀
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