• 一、品牌：CANON ANELVA（佳能安内尔巴，日本真空行业龙头品牌）

• 型号全称：M-361CP-SPN25

• M-361CP：产品系列（皮拉尼 + 冷阴极二合一复合真空计）

• SP：带 2 路压力设定点开关输出（继电器接点）

• N25：NW25 真空法兰接口（标准超高真空 KF25 法兰）

二、核心原理（二合一宽量程测量）

1. 皮拉尼规（Pirani）：负责 1 Pa ~ 1×10⁵ Pa（大气压、低 / 中真空）

   优势：大气压附近测量稳定、响应快，精度媲美隔膜真空计

2. 冷阴极电离规（Cold Cathode）：负责 1×10⁻⁷ Pa ~ 1 Pa（高 / 超高真空）

   优势：无热灯丝、寿命长，独特光学触发防放电失效，减少数值跳变

   设备自动无缝切换两种传感器，不会出现测量中断、数值抖动问题。

三、关键技术规格

1. 测量压力范围：1×10⁻⁷ Pa ～ 1×10⁵ Pa（全覆盖超高真空至常压）

2. 供电：DC 15～30V 直流供电，整机功耗仅 2.4W

3. 信号输出

• 模拟信号：0～10V DC（压力线性输出，可接仪表 / PLC 采集）

• 接点输出：2 路设定点继电器（DC30V/1A，真空设备自动启停控制）

4. 电气接口：9 针 D-SUB 连接器，最大接线距离 300m

5. 工作环境：5℃～55℃，支持工业设备连续 24h 运行

6. 法兰规格：NW25（KF25）真空接口，标准真空腔体通用尺寸

7. 维护特点：冷阴极模块可单独更换，无需整机返厂，维保成本低

四、产品核心优势

1. 一机两用，降低设备成本

   替代传统 “皮拉尼规 + 电离规两套独立装置”，简化真空腔体布线、减少安装空间

2. 切换稳定无故障

   专利光学点火触发结构，解决常规复合规切换时不放电、测量中断、数值漂移问题

3. 常压检测精度优秀

   抽真空前 / 放气阶段数值重现性高，适合镀膜、半导体设备工艺监控

4. 低功耗、小型轻量化

   金属紧凑型机身，适配真空腔体狭小安装位置，散热稳定

5. 合规标准：CE、RoHS 环保认证，日系半导体设备标配元器件

五、主流应用行业

1. 半导体 / 光学镀膜

   真空蒸镀、磁控溅射、离子注入、MBE 分子束外延、电子束光刻设备真空监测

2. 分析检测仪器

   SEM 扫描电镜、SIMS 二次离子质谱、XPS 光电子能谱仪、电子显微镜

3. 工业热处理

   真空退火、电子束焊接、冶金熔炼、真空回流焊、分子蒸馏设备

4. 科研高能设备

   加速器、回旋加速器、实验室超高真空腔体压力测控