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日本SINFONIA 自动化晶圆运输系统

日本SINFONIA 自动化晶圆运输系统

货号: 自动化晶圆运输系统
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简介

300/200mm 晶圆映射功能(无需更改)节能技术:自动设置并转移晶圆在磁带与工艺系统之间由于在干净的N中作,产率较高2大气(由N2发行)(减少颗粒、水分和氧气)由于能够处理高温硅片,生产效率高

产品详情
  1. 300/200mm 晶圆映射功能(无需更改)

  2. 节能技术:自动设置并转移晶圆在磁带与工艺系统之间

  3. 由于在干净的N中作,产率较高2大气(由N2发行)
    (减少颗粒、水分和氧气)

  4. 由于能够处理高温硅片,生产效率高

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