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日本SINFONIA 300毫米FOUP装载口

日本SINFONIA 300毫米FOUP装载口

日本SINFONIA 300毫米FOUP装载口

货号: 300毫米FOUP装载口

库存: 0

品牌: SINFONIA昕芙旎雅科技

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简介

粒子性能有了很大提升。通过气动与电动驱动的混合机制，降低门开关振动。高密封FOUP的合规性。N2航母基地的清除行动改装FOUP类型：ENTEGRIS A-300，Spectra（4个清除端口类型）清除 N2气体（1）安装在喷嘴前方的过滤器，可以阻止颗粒进入FOUP;（2）粘附于FOUP的密封圈监视…

分类: 其他, SINFONIA昕芙旎雅科技,

产品详情

粒子性能有了很大提升。通过气动与电动驱动的混合机制，降低门开关振动。
高密封FOUP的合规性。
N2航母基地的清除行动
改装FOUP类型：ENTEGRIS A-300，Spectra
（4个清除端口类型）
清除 N2气体
（1）安装在喷嘴前方的过滤器，可以阻止颗粒进入FOUP
;（2）粘附于FOUP的密封圈
监视器N2按流量计计算的气体流量
控制 N2气体流量按MFC计算
Fi eLD从标准SELOP8升级到N2可以进行净化加载端口

日本SINFONIA 300/200mm 自动切换装载端口
¥0.00

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日本SINFONIA 磁带框架晶圆 EFEM
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日本SINFONIA 磁带框架晶圆 EFEM

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