日本SINFONIA 面板FOUP加载端口 SELOP20F12-SP

货号: SELOP20F12-SP

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品牌: SINFONIA昕芙旎雅科技

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简介

模型SELOP20F12-SPSELOP24F12-SP靶子工作515510毫米面板600600毫米面板尺寸W793D739H1433（毫米）W793D810H1433（毫米）重量140公斤150公斤应用6/12面板FOUP（符合SEMI E-181标准）循环时间20sec.at FOUP 开启（包括映射过程）15sec.at FOUP 关闭（不含映射过程）门的固定…

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产品详情

模型	SELOP20F12-SP	SELOP24F12-SP
靶子工作	515×510毫米面板	600×600毫米面板
尺寸	W793×D739×H1433（毫米）	W793×D810×H1433（毫米）
重量	140公斤	150公斤
应用	6/12面板FOUP（符合SEMI E-181标准）
循环时间	20sec.at FOUP 开启（包括映射过程） 15sec.at FOUP 关闭（不含映射过程）
门的固定方法	真空吸收法
定位精度	±FOUP前后轴0.1mm，FOUP上下轴±0.1mm）
检测功能	（1）FOUP存在（2）FOUP的放置（3）FOUP门的存在（4）晶圆映射（5）晶圆突出（6）手部安全
运动机构	（1）门（上下/开/合·晶圆映射）：步进电机·正时皮带（2）夹具·卡座·锁扣键：气缸
标准函数	（1）晶圆映射（2）控制器（3）脱离位置调整功能（用于与OHT线的调整）（4）BOLTS表面位置调节机构（5）自立式发射器（6）以太网
实用性	（1）电力：DC24V 5A （2）空气：0.45 − 0.6MPa 10升/分钟（3）真空空气：-60Kpa 5升/分钟
通信接口	RS232C，以太网
选项	（1）可定制指示面板（2）可定制开关面板（3）载波识别识别器（4）信息板（A，B，C，D，E，F））（硬引脚和传感器）（5）PIO （6）不包括映射功能（7）适用于AC200V （8）E84 （9）E84，CID通信（10）螺栓表面密封（11）N₂清除