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其他 PURERON 日本PURERON 排气用过滤器 FBA/FBAX-4-02ST

日本PURERON 排气用过滤器 FBA/FBAX-4-02ST

货号: FBA/FBAX-4-02ST

库存: 0

品牌: PURERON

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简介

在半导体制造装置中使用的负载锁定室(Loadlockchamber)和输送室一(Transferchamber)等中，进行真空破坏时产生的颗粒卷起或过渡性紊流的产生，有可能导致颗粒附着在芯片上或损坏。以往通过缓慢导入氮气进行缓慢通风来防止该现象，但通过使用Puaron日本的通风用过滤器，不需…

分类: 其他, PURERON,

产品详情

在半导体制造装置中使用的负载锁定室(Loadlockchamber)和输送室一(

Transferchamber)等中，进行真空破坏时产生的颗粒卷起或过渡性紊流的产生，有

可能导致颗粒附着在芯片上或损坏。以往通过缓慢导入氮气进行缓慢通风来防止该现

象，但通过使用Puaron日本的通风用过滤器，不需要该缓慢通风，从而大幅提高吞吐

量。

所有材质均为SUS316L构成。

具有优异的耐热性。

具有高通过精度。

由于其杯状设计，可从前端喷出气体。

在半导体制造设备(如负载锁室和传输室)的腔室内，当真空被打破时，会存在飞行

微粒和瞬时湍流现象，这可能导致微粒粘附并损害晶圆。通常，采用所谓的“缓慢排

气”方法-一即缓慢注入氮气--来预防此类情况发生。然而，若使用Pureron 的排

气过滤器，则不再需要这种缓慢排气方式，且产能将显著提升。

滤芯所有部件均由SUS316L制成。

该滤芯具有高耐热性。

该过滤器具有高过滤精度。

由于其杯状设计，气体可从滤芯尖端注入。

日本PURERON 排气用过滤器 FBA/FBAX-5-02ST
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日本PURERON 排气用过滤器 FBA/FBAX-5-04VR
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江西省萍乡市安源区春雷粮油批发市场招商中心二楼201-203室

0799-6669801

px@tamasaki.com

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