日本PURERON 气体过滤器 UCD/UCDX-SB-02VR·56.4

货号: UCD/UCDX-SB-02VR·56.4

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品牌: PURERON

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简介

●滤芯所有构成部件均采用SUS316L，无腐蚀或二次生成物风险，发挥高耐热性能。当氮气(Ne)在过滤器进气侧压力为0.2MPa时，出气侧压降为0.05MPa，可实现90SLM的流量。在恒定流与脉动条件下，通过CNC确认过滤精度为0.003μm/0.0015μm，在超微米ULSI制造中实现了显著的良率提…

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产品详情

●滤芯所有构成部件均采用SUS316L，无腐蚀或二次生成物风险，发挥高耐热性能。

当氮气(Ne)在过滤器进气侧压力为0.2MPa时，出气侧压降为0.05MPa，可实现90SLM的流量。

在恒定流与脉动条件下，通过CNC确认过滤精度为0.003μm/0.0015μm，在超微米ULSI制造中实现了显著的良

率提升。

滤芯结构材料采用SUS316L，实现高耐热性，且极少发生腐蚀或二次材料生成。

当在内侧施加0.2MPa氮气(N2)压力时，外压损失为0.05MPa，实现90SLM流量。

过滤精度通过数控计数器在恒定和脉动流下检测，实现亚微米级ULSI生产中显著提升良率。

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