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其他 PURERON 日本PURERON 气体过滤器 PGFL/PGFLX-2-02SW·PC07

日本PURERON 气体过滤器 PGFL/PGFLX-2-02SW·PC07

货号: PGFL/PGFLX-2-02SW·PC07

库存: 0

品牌: PURERON

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简介

高浦过精度@在亚微米LSI制造工艺中，原料气体以高纯度供给至使用点是必不可少的。为此，原料气体的高纯度化，配管系统的超清洁化也是一大亮点。Purelon日本为了满足这样的时代要求，开发了在元件部使用陶瓷的全新过滤器。其结果，在始终稳定的状态下，实现了0.003μm/0.0…

分类: 其他, PURERON,

产品详情

高浦过精度

@在亚微米LSI制造工艺中，原料气体以高纯度供给至使用点是必不可少的。为此，原料

气体的高纯度化，配管系统的超清洁化也是一大亮点。Purelon日本为了满足这样的

时代要求，开发了在元件部使用陶瓷的全新过滤器。其结果，在始终稳定的状态下，

实现了0.003μm/0.00015μm的高过滤精度。

低压损失

在保持本公司以往PGF系列高过滤性能的同时，实现了低压压损。与传统的PGF系列完全相同的

外形尺寸下，可处理约两倍的流量。

高精度过滤

对于亚微米级LSI工艺，向使用点供应高纯度工艺气体是必不可少的。为此，超洁净管道也是一

个主要关注点。为了应对这些要求，日本Pure ron公司开发了以陶瓷为过滤元件的全新过滤器，

在稳定条件下实现了0.003μm/0.0015μm的高精度过滤。

低压损

在保持PGF系列高效过滤的同时实现低压损。在相同尺寸下，流量可接近PGF系列的

两倍。

日本PURERON 气体过滤器 PGFL/PGFLX-2-03VR·PC07
¥0.00

日本PURERON 气体过滤器 PGFL/PGFLX-2-02VR·PC07
¥0.00

江西省萍乡市安源区春雷粮油批发市场招商中心二楼201-203室

0799-6669801

px@tamasaki.com

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