其他 PURERON 日本PURERON 气体过滤器 PGF-2-03VR·PC07

日本PURERON 气体过滤器 PGF-2-03VR·PC07

货号: PGF-2-03VR·PC07

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品牌: PURERON

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高滤过精度陈亚微米LSI制造工艺中，原料气体以高纯度的状态供给到使用点是必不可少的。为此，原料气体的高纯度化，配管系统的超清洁化也是一大亮点。Purelon日本为了满足这样的时代要求，开发了在元件部使用陶瓷的全新过滤器。其结果，在稳定的状态下，实现了0.003μm的高…

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高滤过精度

陈亚微米LSI制造工艺中，原料气体以高纯度的状态供给到使用点是必不可少的。为此，原料气体的高纯度

化，配管系统的超清洁化也是一大亮点。Purelon日本为了满足这样的时代要求，开发了在元件部使用陶瓷

的全新过滤器。其结果，在稳定的状态下，实现了0.003μm的高速周精度。

蚀刻或薄膜形成时不可或缺的高选择性

了追求高选择性，除去水和氧等杂质的问题成为极其重要的点。为了切实地除去这些杂质，在高温状态

下烘焙是必不可少的。从这种观点开发的陶瓷过滤器中，可以进行200oC的高温烘焙。

免维护带来的成本降低

由于根据颗粒径的大小可以阶段性地减小过量的三层结构，所以几乎没有堵塞，而且具有耐久

性/耐热性优异的特征的陶瓷过滤器，与以往的过滤器相比，在使用时没有麻烦。因此，没有生

产线停机造成的经济损失，可以长期降低成本。

高精度过滤

于亚微米LSI工艺而言，向使用点提供高纯度工艺气体是不可或缺的。为此，超洁净管道也是一个主要关注点。为了应

对此类需求，Pureron Japan开发出了全新的过滤器，采用陶瓷作为过滤元件，并在稳定状态下实现了.003微米的高精

度过滤。

高选择性，蚀刻与薄膜工艺不可或缺

去除诸如水与氧等杂质对于追求高选择性而言至关重要。为确保能够彻底清除杂质，高温焙烧是不可或缺的步骤。基于这

一观点，日本 Pureron公司已研发出陶瓷过滤器，并可实现在200℃的高温条件下进行焙烧处理。

通过免维护操作降低成本

三层过滤结构，根据颗粒直径大小不同，极少出现堵塞现象。陶瓷过滤器相较于传统过滤器还具有更高的

耐用性和耐热性。由此导致的因生产停机而造成的损失得以减少，从而实现了长期成本节约。

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