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电子计测·仪器仪表 HORIBA堀场 HORIBA堀场等离子体发射控制器RU-1000

HORIBA堀场等离子体发射控制器RU-1000

HORIBA堀场等离子体发射控制器RU-1000

RU-1000

货号: RU-1000

库存: 0

品牌: HORIBA堀场

¥0.00

简介

RU-1000 等离子体发射控制器利用新开发的算法执行快速和高度可靠的反馈控制客户可以更改 PID 值，因此可以针对特定条件优化设置

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情

主控制器单元 RU-1000

输入信号	以太网（10BASE-T，100BASE-TX） 1CH PMT 的监控信号，或溅射电源的监控信号（0-10Vdc/0-100%） 4CH MFC 输出信号（0-5Vdc/0-100%） 4CH
输出信号	PMT 增益设置信号（0-5Vdc/0-100%） 4CH MFC 设置信号（0-5Vdc/0-100%） 4CH
电源	AC100~240V±10% 50/60Hz 100VA
重量	约 5.3 千克

可滚动

PMT 单元 RU-1000P

输入信号	等离子体发射，PMT 增益（0-5V）
输出信号	PMT 输出信号（0-10Vdc）
电源	直流 15V 60mA
其他	窄带滤波器可以安装在 PMT 的内部。
重量	约 720g

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准直仪 RU-1000C-01/02

类别温度范围和湿度范围。	10-300°C，10-80%相对湿度
材料	准直器： SUS304 窗口透镜：合成熔融石英玻璃
重量	约 150 克
准直器尖端的直径	F12

可滚动

PMT 单元法兰 RU-1000F-01/02

类别温度范围和湿度范围。	10-200°C，10-80%RH
重量	普通型：约 100g 直接连接型：约 160g （法兰型： KF25 时）

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电缆 RU-1000H

名字	类型
窄带滤波器组	RU-1000B 用户指定中心波长。
SIG 电缆（1M）	RU-1000H-02-01
SIG 电缆（2M）	RU-1000H-02-02
SIG 电缆（3M）	RU-1000H-02-03
SIG 电缆（5M）	RU-1000H-02-05
SIG 电缆（10M）	RU-1000H-02-10

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名字	类型
PMT 电缆（1M）	RU-1000H-01-01
PMT 电缆（2M）	RU-1000H-01-02
PMT 电缆（3M）	RU-1000H-01-03
PMT 电缆（5M）	RU-1000H-01-05
PMT 电缆（10M）	RU-1000H-01-10

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光纤 RU-1000 O

名字	类型
PMT 用光纤（0.5M）	RU-1000O-005 系列
PMT 用光纤（1M）	RU-1000O-010 系列
PMT 用光纤（1.5M）	RU-1000O-015 系列
PMT 用光纤（2M）	RU-1000O-020 系列

HORIBA堀场比表面积分析仪SA-9650-1SP
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HORIBA堀场比表面积分析仪SA-9650-1SP

HORIBA堀场光罩/掩膜颗粒去除设备RP-1
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HORIBA堀场光罩/掩膜颗粒去除设备RP-1

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