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HORIBA堀场独立式化学药液浓度计CS-100

CS-100

货号: CS-100
库存: 0 无货
品牌: HORIBA堀场

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简介

CS-100 系列为半导体制程各种清洗和刻蚀工艺的药液提供完整的、高精度的化学药液浓度计。 除高速响应和紧凑设计等特点外,浓度计还可实时测量每种组分的浓度,通过报警提醒化学药液变化和自动供应的时间。 具备执行短周期测量的能力,可准确检测浓度变化。

产品详情

型号名称

CS-100 型
测量原理吸收光谱法
样品温度20 至 30 摄氏度
环境温度20 至 25 摄氏度
组件最多 4 个组件
化学范围最多 4 个量程
通信并行 I/O、模拟输出、RS-232C
模拟输出
(4-20 mA)
最多 2 个组件
尺寸205(宽) x 329(深) x 269(高)毫米
电源直流 24V
易损件卤素灯
波长紫外/近红外
接液材料PTFE、PFA、蓝宝石或石英
可滚动

图表


HORIBA堀场化学溶液监测系统CS-1000
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HORIBA堀场化学溶液监测系统CS-1000
HORIBA堀场成像光谱仪CP140-104
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HORIBA堀场成像光谱仪CP140-104